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美国康宁公司Julie L. Casey一行来所进行学术交流

来源: 发布时间:2014-09-10 09:13:56

  95日上午,美国康宁公司销售与技术经理Julie L. Casey等一行六人应邀到上海光机所进行学术交流,全所科研人员共50余人参加了本次报告会。  

  Julie L. Casey女士首先向大家简要地介绍了美国康宁公司的概况,包括六大产品部门、创新模式、主要产品和应用范围等内容。随后,针对我所对熔融石英等的需求情况,她具体地报告了康宁公司先进光学材料的研究进展,主要包括用于高功率激光系统和EUV光刻系统的高纯度熔融石英、中红外玻璃等的制造工艺和材料特性。Julie L. Casey指出,不同型号的熔融石英玻璃的特性和用途不同,定义熔融石英玻璃质量的主要标准是杂质含量和均匀性。最后,她分析了熔融石英玻璃的抗激光损伤阈值与体材料杂质和羟基浓度、表面抛光等的关系。 

  报告结束后,与会人员与Julie L. Casey等深入地讨论了熔融石英玻璃的抗损伤性能、透过波前测量技术、玻璃制造工艺、退火工艺及其在EUV光刻中应用等相关问题,报告现场学术气氛浓厚。(高功率激光物理联合实验室供稿)