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设备参数 

设备联系人 

• 制造商：Leybold Optics
• 主要参数：
  腔室内径：2100 mm
  沉积方式：电子束蒸发+离子辅助物理气相沉积
  最大元件尺寸：1400 mm × 420 mm × 150 mm或Ф730 mm
• 功能：
  制备各类型紫外至近红外光学薄膜(反射镜、增透膜、分光镜、偏振片等)

孙建
021-69918251

• 制造商：Leybold Optics
• 主要参数：
  腔室内径：1110 mm
  沉积方式：电子束蒸发+离子辅助物理气相沉积
  最大元件尺寸：Ф380 mm
• 功能：
  制备各类型紫外至近红外波段光学薄膜(反射镜、增透膜、分光镜、偏振片等)
  

孙建
021-69918251

• 制造商：Leybold Optics
• 主要参数：
  腔室内径：1110 mm
  沉积方式：电子束蒸发+热舟蒸发+离子辅助物理气相沉积
  最大元件尺寸：Ф380 mm
• 功能：
  制备各类型真空紫外至近红外波段光学薄膜(反射镜、增透膜、分光镜、偏振片等)
  

孙建
021-69918251