测量高功率激光薄膜损伤阈值的实验装置

   该课题围绕提高薄膜的破坏阈值，在基体加工、分析沉积工艺、薄膜材料、薄膜的温度场设计及应力分析、薄膜的光热测量、薄膜破坏阈值测量以及激光预处理技术等各个方面做了深入细致的研究工作，进一步提高了高功率激光薄膜的性能，特别在新型光学薄膜的研制和常用光学薄膜的性能改进、薄膜破坏阈值的提高方面取得了重大进展。

   1、口径在200mm左右的反射膜的破坏阈值在现有的确定的工艺下可稳定达到20J/cm²(1.064μm，1ns)，破坏阈值大于25J/cm²的超高强度激光薄膜也已做出样品；抽样检测表明反射膜的反射率己达99.5%以上。