微纳光电子功能材料实验室
| 设备名称: 高频磁控溅射设备 | ||||||
| 设备型号 | Z550S | 设备编号 | 2009111 | 产 地 | 德国 | |
| 制造商名称 | 德国LEYBOL公司 | |||||
| 经销商 | LEYBOL公司 | |||||
| 购置时间 | 1989/11/22 | 启用日期 | 1991/2/21 | 仪器金额 | 2724001.05 | |
| 接收时的状态及验收记录 | 完好，验收合格 | |||||
| 仪器描述 | 本设备为带换样室立式结构的超高真空磁控溅射镀膜 | |||||
| 仪器主要配件 | 直流、射频电源，控制柜等 | |||||
| 仪器主要功能 | 本底真空可达≦1×10-4Pa,可进行大面积沉积镀膜。 | |||||
| 分析项目说明 | 靶材要求：溅射靶材直径为200mm，为钎焊放置。 | |||||
| 联系方式 | 张奎:021-69918562 | |||||
| 设备图片 |  | |||||
微信公众号
上光简讯
copyright © 2019 中国科学院上海光学精密机械研究所 沪ICP备05015387号
主办：中国科学院上海光学精密机械研究所 上海市嘉定区清河路390号(201800)
转载本站信息，请注明信息来源和链接。