本所声明  |  联系方式  |  中国科学院  |  数字认证(OA)   |  ARP  |  English  |  邮箱
机构设置 > 青年创新促进会 > 会员信息

唐锋

来源： 发布时间：2022-05-16【字体：大 中 小】

籍贯（省市）：陕西省岐山县  

所在单位：上海光学精密机械研究所  

入会时间：2014年  

个人简历：  

　　1997.09-2006.03    天津大学    精仪学院            博士  

　　2006.03-2008.06    中科院上海光学精密机械研究所    博士后  

　　2008.06-2016.09    中科院上海光学精密机械研究所    副研  

　　2016.09-至   今    中科院上海光学精密机械研究所    研究员 

研究方向：  

　　　 干涉测量技术及仪器、高端光刻机像质检测技术。  

承担项目：   

　　　　作为课题组副组长及技术负责人承担国家02科技重大专项“EUVL投影物镜波像差检测装置研发”课题，作为子课题负责人承担02专项“子孔径拼接干涉测量装置” 的研发。  

学术成果：  

　　　　在Optics Letters、Applied Optics等光学学术期刊发表干涉检测相关论文20余篇。  

代表成果：  

　　　　1. 作为技术负责人研发的极紫外光刻波像差检测系统48小时波前长期测量重复性达到0.1nmRMS，38天波前长期测试重复性达到0.24nm RMS。  

　　　  2. 研发的平面子孔径拼接干涉测量装置一维450mm范围内测量精度与大口径干涉仪相当。   

　　荣誉称号：  

　　　　2014年入选中国科学院青年创新促进会。  

附件下载：

copyright 2000- 中国科学院上海光学精密机械研究所 沪ICP备05015387号-1
主办：中国科学院上海光学精密机械研究所 上海市嘉定区清河路390号(201800)

转载本站信息，请注明信息来源和链接。 沪公网安备 31011402010030号


上海光机所
微信公众号

尚光聚力
微信公众号