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5月19日学术报告:高带宽MEMS光机械加速度计及其测量方法

来源: 发布时间:2023-04-19【字体:

  报 告 人:周锋 副研究员 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院

  会议时间:2023年5月19日 9:30

  会议地点:18号楼510会议室

  报告内容 

  加速度计是测量载体加速度的关键器件,支撑着国防惯导、航空航天、自动驾驶、工业检测和资源勘探等领域的飞速发展。针对加速度计应用高精度传感、标准装置微型化以及校准自溯源性的发展需求,我们提出一种基于硅基法布里珀罗光学微腔的微机械加速度计,利用超高灵敏度的光学探测位移的方法,测量集成在硅基芯片上的微机械振子的运动从而得到加速度信息,测量灵敏度达到热噪声极限,满足高精度、宽响应带宽、大动态范围的加速度测量需求。

  报告人简介:

  周锋,中科院精密测量科学与技术创新研究院副研究员,2022年中科院“引才计划”入选者,2018年获华中科技大学光学与电子信息学院光学工程博士学位,2015年至2022年相继在美国国家标准与技术研究院、马里兰大学联合量子研究中心做访问学者和博士后,主要从事于精密测量与传感技术方面的研究工作,包括原子芯片,原子磁力计,微腔光力加速度计等精密测量技术与器件的研制。曾主持美国商务部计量标准与测量物理研究基金,参与 “NIST-on-a-chip (NOAC)”芯片实验室计划,其主导研制的自溯源芯片微腔光机械加速度计是目前世界报道的灵敏度最高的高带宽光机加速度计,被Sci Tech Daily, Phys.org, Physics World等国际权威科技媒体热点报道。研究成果发表论文二十余篇,含Sci. Adv.(1篇)、Optica(1篇)、Nat. Comm.(2篇)、Phys. Rev. Lett.(1篇)、、Laser Photon&Rev.(1篇)等Top核心期刊,引用100余次,担任Appl. Optics, Opt. Express, Opt. Lett., Nanotechnology等期刊审稿人。


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