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龚爽同学博士学位论文答辩报告会(2022.5.25)

来源: 发布时间:2022-05-22【字体:
 

论文题目:光学元件制造精度对浸没光刻机照明系统性能的影响研究

答辩人:龚爽

指导老师:黄惠杰研究员、杨宝喜正高级工程师

学科(专业):光学工程

学位答辩委员会成员:

答辩委员会成员

专业技术职务

工作单位

主席

肖体乔

研究员

上海高等研究院

委员

吴亚明

研究员

上海微系统与信息技术研究所

曾爱军

教授

上海光机所

黄立华

研究员

上海光机所

李思坤

研究员

上海光机所

答辩地点:腾讯会议466-183-985

答辩时间:2022-5-25  900

上海光机所研究生部

2022-5-22


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