本所声明  |  中科院  |  OA  |  ARP  |  English  |  邮箱  |  旧版首页

上海市科委张全主任一行调研上海光机所与白俄罗斯KBTEM-OMO JSC公司的国际合作,并见证双方签约仪式

来源: 发布时间:2019-08-05 08:45:00

  726日,上海市科学技术委员会张全主任一行5人访问了上海光机所重要国际合作伙伴白俄罗斯KBTEM-OMO JSC公司,并就双方在光刻技术与装备领域的国际合作项目进行现场调研。上海光机所综合办公室副主任林红香,项目组成员魏劲松研究员、朱菁副研究员等人陪同调研,并汇报了合作进展。 

  张全一行KBTEM-OMO JSC公司总裁Sergei Avakaw等人的陪同下,参观了集成电路光刻掩模制造设备的设计部和生产车间,现场详细了解了光刻掩模曝光设备、检测设备和修复设备的关键技术指标和技术水平。座谈会上,张全一行首先了解了自2011年以来上海光机所和白俄罗斯KBTEM-OMO JSC公司在光刻领域的多项合作项目进展和研究成果情况,以及KBTEM-OMO JSC公司的发展历史、分支架构和在集成电路光刻掩模领域的关键技术和设备研发能力。 

  张全指出,我国需要寻找全球技术顶尖的公司开展合作研究,以弥补某些国家技术产业的短板。双方在半导体装备领域的合作符合上海集成电路产业发展的需要,充分响应了国家战略需求。在上海市科委张全一行人员的见证下,上海光机所代表朱菁和KBTEM-OMO JSC公司总裁Sergei Avakaw签署了90-22nm技术节点无缺陷掩模产线技术联合研发”合作备忘录。 

  最后,张全表示,上海市科委将继续支持双方的合作研究,希望双方进一步深化合作,产出更多的成果,并欢迎白方工作人员到上海访问。(综合办公室供稿) 

签署仪式

合影

附件下载: